Mục tiêu phún xạ titan được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn
Các mục tiêu phún xạ titan được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn để lắng đọng các màng mỏng trên các tấm silicon.Các màng mỏng được sử dụng trong sản xuất các thiết bị vi điện tử, chẳng hạn như bóng bán dẫn, điốt và mạch tích hợp.Dưới đây là một số cách cụ thể trong đómục tiêu phún xạ titanđược sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn:
điện cực cổng: Các mục tiêu phún xạ titan được sử dụng để lắng đọng các màng mỏng titan lên các tấm bán dẫn silicon nhằm tạo ra các điện cực cổng trong các bóng bán dẫn hiệu ứng trường bán dẫn oxit kim loại (MOSFET).Các điện cực cổng này được sử dụng để điều khiển dòng điện trong MOSFET.
kết nối: Các mục tiêu phún xạ titan được sử dụng để lắng đọng các màng mỏng titan lên các tấm bán dẫn silicon nhằm tạo ra các liên kết trong các mạch tích hợp.Các kết nối này được sử dụng để kết nối các thành phần khác nhau của mạch tích hợp và rất cần thiết cho hoạt động của chúng.
rào cản khuếch tán: Các mục tiêu phún xạ titan được sử dụng để lắng đọng các màng mỏng titan nitrit (TiN) lên các tấm bán dẫn silicon nhằm tạo ra các rào cản khuếch tán trong các mạch tích hợp.Các rào cản khuếch tán này được sử dụng để ngăn chặn sự khuếch tán của kim loại vào silicon, điều này có thể gây ra sự suy giảm hiệu suất và hỏng mạch tích hợp.
khắc mặt nạ: Các mục tiêu phún xạ titan được sử dụng để lắng đọng các màng mỏng titan lên các tấm bán dẫn silicon để tạo mặt nạ ăn mòn.Các mặt nạ ăn mòn này được sử dụng để bảo vệ các khu vực cụ thể của tấm bán dẫn silicon trong quá trình ăn mòn, được sử dụng để tạo ra các mẫu và tính năng cụ thể trong các mạch tích hợp.
Tóm tắt,mục tiêu phún xạ titanlà những vật liệu thiết yếu trong ngành công nghiệp bán dẫn và được sử dụng cho nhiều ứng dụng, bao gồm điện cực cổng, kết nối liên kết, rào cản khuếch tán và mặt nạ khắc.